• 2022-07-27
    8-7离子进入工件表面后,与工件内原子和电子发生一系列碰撞。这—系列碰撞主要包括二个独立的过程:
    A: 质子碰撞:入射离子与工件质子的弹性碰撞。
    B: 核碰撞:入射离子与工件原子核的弹性碰撞。
    C: 中子碰撞:入射离子与工件中子的弹性碰撞。
    D: 电子碰撞:入射离子与工件内电子的非弹性碰撞,其结果可能引起离子激发原子中的电子或使原子获得电子、电离或X射线发射等。