工艺上用于反映横向刻蚀程度的参数是:
A: 刻蚀速率
B: 刻蚀因子
C: 均匀性
D: 选择比
A: 刻蚀速率
B: 刻蚀因子
C: 均匀性
D: 选择比
举一反三
- 刻蚀参数有：（ ）。 A: 刻蚀偏差 B: 刻蚀速率 C: 均匀性 D: 选择比
- 当刻蚀线条时，刻蚀的深度V与一边的横向增加量ΔX的比值称之为（）。 A: 刻蚀速率 B: 刻蚀均匀性 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀因子
- 在刻蚀工艺中,有几个非常重要的参数,其中( )定义为当刻蚀线条时,刻蚀的深度V 与一边的横向增加量 ΔX 的比值V/ΔX,比值越大,说明横向刻蚀速率小,刻蚀图形的保真度好。 A: 刻蚀因子 B: 刻蚀速率 C: 选择比 D: 均匀性
- 35.在刻蚀工艺中，有几个非常重要的参数，其中（）定义为当刻蚀线条时，刻蚀的深度V 与一[br][/br]边的横向增加量 ΔX 的比值V/ΔX，比值越大，说明横向刻蚀速率小，刻蚀图形的保真度好。 A: 刻蚀因子 B: 刻蚀速率 C: 选择比 D: 均匀性
- 下面选项中属于刻蚀的主要参数的有（）等。 A: 刻蚀速率和刻蚀因子 B: 刻蚀选择比 C: 刻蚀均匀性和良好形貌 D: 各向同性与各向异性