刻蚀效果只与刻蚀时间有关系，与刻蚀槽温度和药液比例无关。
举一反三
- 刻蚀过刻，造成可能原因有哪些（）。 A: 排风大小 B: 刻蚀槽滚轮水平效果较差 C: 刻蚀槽循环流量及刻蚀槽温度过高 D: 水膜覆盖不全面
- 反应离子深刻蚀得到的刻蚀深度与刻蚀窗口的大小有关,刻蚀深度随刻蚀窗口的减小而减小,这个现象称为(______ )。
- 关于刻蚀技术，以下说法错误的是（ ）？ A: 喷淋方式有气泡去除效果，刻蚀速度快，能控制刻蚀的线宽 B: 浸润方式没有气泡去除效果，刻蚀速度慢，能控制刻蚀的形状 C: 浸润方式有气泡去除效果，刻蚀速度慢，能控制刻蚀的形状 D: 浸泡方式没有气泡去除效果，刻蚀速度慢，能控制刻蚀的形状
- 中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和
- 下面选项中属于刻蚀的主要参数的有（）等。 A: 刻蚀速率和刻蚀因子 B: 刻蚀选择比 C: 刻蚀均匀性和良好形貌 D: 各向同性与各向异性