中国大学MOOC: 外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长 薄膜。
晶体
举一反三
内容
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晶体硅薄膜外延层增强技术中的绒面衬底上的外延生长技术主要分为化学和 两种方法。
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在蓝宝石衬底上外延生长GaN薄膜,一般首先生长成核层和缓冲层,以改善GaN外延薄膜的晶体质量。(<br/>)
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中国大学MOOC: 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。
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薄膜外延生长技术是指在单晶衬底上,定向地生长与衬底晶体结构相同或类似的晶态薄层。如果生长材料与衬底成分相同,称为______ 外延;生长材料与衬底成分不同,称为______ 外延。
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中国大学MOOC: 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，分为同质外延和异质外延两大类。