什么是等离子刻蚀？
利用放电产生的游离基与材料发生化学反应，形成挥发物，实现刻蚀。选择性好、对衬底损伤较小，但各向异性较差。
举一反三
内容
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反应离子深刻蚀得到的刻蚀深度与刻蚀窗口的大小有关,刻蚀深度随刻蚀窗口的减小而减小,这个现象称为(______ )。
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反应离子深刻蚀中的时分复用深刻蚀能实现非常高的刻蚀深宽比，其在每个周期内的刻蚀是各向______ 的。
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圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。
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离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。
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离子束加工分为( )。 A: 离子刻蚀 B: 离子溅射沉积 C: 离子焊接 D: 离子镀