关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-26 用于热CVD的反应器有()()两种基本类型 用于热CVD的反应器有()()两种基本类型 答案： 查看 举一反三 半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型 烷烃的热反应基本有两种（）反应（）反应。 CVD根据激活方式不同分为： A: 热激活CVD B: 等离子增强的反应沉积CVD C: 激光增强的反应沉积CVD D: 微波电子共振等子离CVD 在硅CVD外延生长中，所利用的基本热化学过程共有三个类型：______ 反应、______ 反应、______ 反应。 写出CVD工艺的基本反应方程式:______ 。
