溅射率也称溅射产额，表示正离子轰击作为阴极材料的靶材时，平均每个正离子能从靶材上打出的原子数目。
举一反三
- 溅射率也称溅射产额，表示正离子轰击作为阴极材料的靶材时，平均每个正离子能从靶材上打出的原子数目。 A: 正确 B: 错误
- 采用高能离子轰击某种材料制成的靶材，靶材原子被溅射脱落后其沉积到工件表面的加工方法，称为离子溅射沉积法。? 错误|正确
- 溅射（Sputtering）是由 轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。 A: 高能离子 B: 电子 C: 中性粒子 D: 负离子
- 溅射工艺是指由轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。 A: 电子 B: 中性粒子 C: 高能离子 D: 负离子
- 中国大学MOOC: 溅射（Sputtering）是由 轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。