各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。
举一反三
- 各向同性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。
- 下面选项中属于刻蚀的主要参数的有（）等。 A: 刻蚀速率和刻蚀因子 B: 刻蚀选择比 C: 刻蚀均匀性和良好形貌 D: 各向同性与各向异性
- 中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和
- 当刻蚀线条时，刻蚀的深度V与一边的横向增加量ΔX的比值称之为（）。 A: 刻蚀速率 B: 刻蚀均匀性 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀因子
- 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀