• 2022-10-27
    局部平坦化的特点是在一定范围的硅片表
面上实现平坦化,主要技术为()法。
    A: 旋涂玻璃
(SOG)法
    B: 化学机械抛光CMP法
    C: 玻璃回流法
    D: 回刻技术