干法刻蚀一般通过气体放电产生离子或者活性基对薄膜进行刻蚀，干法刻蚀可以实现各向异性刻蚀，原因是
举一反三
- 干法刻蚀一般通过气体放电产生离子或者活性基对薄膜进行刻蚀，干法刻蚀可以实现各向异性刻蚀，原因是 A: 离子可用电磁场对其能量和运动方向进行控制 B: 活性基的运动是随机的 C: 活性基可以对基板进行化学刻蚀 D: 离子的动能不一样，刻蚀速率不一样
- 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀
- 什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
- 一般湿法刻蚀是各同异性,而干法刻蚀则是各向异性。( )
- 关于干法和湿法刻蚀说法错误的是() A: 湿法刻蚀保真度较差 B: 干法刻蚀选择性较差 C: 干法刻蚀均匀性较好 D: 干法刻蚀清洁性较好