说明RCA清洗硅片的方法,SC-1和SC-2的配方特点
SC-1去除有机残余物,金属 SC-2去除碱金属离子,氢氧根。 根据不同的应用,SC-1和SC-2前后顺序也可颠倒。如果晶片表面不允许有氧化物存在,则需加入氢氟酸清洗这一步。它可以放在SC-1和SC-2之前进行,或者在两者之间,或者在RCA清洗之后。
举一反三
内容
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使用RCA清洗剂清洗硅片的正确清洗顺序为先I号后II号。
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LC和SC分别具有几个工作站系统() A: LC:3,SC:3 B: LC:4,SC:2 C: LC:2,SC:4 D: LC:4,SC:3
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目前的食品生产许可证编号由SC和14位阿拉伯数字组成,若“SC”后的第一位阿拉伯数为“1”,说明此产品为______ 类产品,若为“2”,为______ 类产品。
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在“学生-选课-课程”数据库中的3个关系如下:S(SNO, SNAME, SEX, AGE); C(CNO, CNAME, TEACHER);SC(SNO, CNO, GRADE),查询既选修了“2”号又选修了“4”号课程的学生学号。若用关系代数表达式来表示为( )。 A: ПSNO (σCNO=’2’(SC) ∩ σCNO=’4’(SC) ) B: ПSNO (σCNO=’2’(SC)) ¥ ПSNO(σCNO=’4’(SC) ) C: ПSNO (σCNO=’2’(SC) ∪ σCNO=’4’(SC) ) D: σCNO=’2’(SC) ¥σCNO=’4’(SC)
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能够去除金属离子的清洗液是: A: SC-1 B: SC-2 C: SC-3 D: DHF