• 2022-06-05
    电子束本身具有一定的发射角,随着行进距离的增大,电子束的束斑直径会不断增大,直接降低了电子束的功率密度,同时也降低了电子束的成型精度,因而需要在电子束到达底板之前对电子束聚焦,减小束斑直径,提高功率密度。