• 2022-06-14
    IC制造中常采用什么方法形成金属层?它的作用是什么?
  • 金属层的形成主要采用物理汽相沉积(Pysical Vapor Deposition,简称PVD)技术。在半导体工艺发展过程中,主要的PVD技术有蒸镀和溅镀两种。金属层的作用有:(1)形成器件本身的接触线;(2)形成器件间的互连线;(3)形成焊盘。

    内容

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