IC制造中常采用什么方法形成金属层?它的作用是什么?
金属层的形成主要采用物理汽相沉积(Pysical Vapor Deposition,简称PVD)技术。在半导体工艺发展过程中,主要的PVD技术有蒸镀和溅镀两种。金属层的作用有:(1)形成器件本身的接触线;(2)形成器件间的互连线;(3)形成焊盘。
举一反三
内容
- 0
什么是构造方法?作用是是什么?
- 1
什么是导语?它的作用是什么?
- 2
什么是路由器,它的作用是什么?
- 3
什么是感受器?它的作用是什么?
- 4
什么是 CA, 它的作用是什么