叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
举一反三
- 制作微型机械或微型装置的微细加工技术称为微型机械加工技术
- 中国大学MOOC: 微机电微型传感器 (MEMS)是物联网传感器大量布建普及化的重要关键技术. 下列哪些针对微机电微型传感器的叙述是正确的 ?
- N十一3()系统是指利用大规模集成电路制造工艺,经过微米级加工,得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术属于物联网的信息采集层技术。 A: 微电 B: 微机 C: 微电脑 D: 微机电
- 简述微型机械加工技术的关键技术
- 以下技术领域的进步大幅推动了微型传感器的进步（）。 A: 新能源 B: 微机电技术（MEMS） C: 5G通信 D: 可视化技术