MEMS光刻与IC光刻的主要区别在于()。 A: MEMS光刻需要在更为不平整的表面上进行 B: MEMS光刻的线条更细 C: MEMS光刻都需要双面进行
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如果希望查找“基于MEMS技术的物联网用压力传感器”这个课题相关的文献,较好的检索词应该是:______ A: 物联网,压力传感器,MEMS,微电子机械系统 B: 物联网,传感器,MEMS C: 物联网,压力传感器 D: 压力传感器,MEMS
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MEMS主要优点有( )
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简要介绍主要的MEMS制造技术。
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题目：基于MEMS的航姿测量系统
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20世纪80年代，在MEMS的发展时期中，1988年伯克利制造了一个______ 驱动旋转马达，成为整个MEMS领域中里程碑式的事件。
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（Micro Electro Mechanical System）简称MEMS的中文全称。
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1800℃以上的环境MEMS传感器系统无法正常工作。
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MEMS()在美国称为()(),在日本被称为()(),在欧洲被称为()()
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MEMS的检测有3个方面：______检测技术、______检测、______检测。
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