• 2022-06-26
    下列关于耐高温新型陶瓷——氮化硅(Si3N4)的叙述,正确的是
    A: 氮化硅中Si、N两种元素的质量比为4:3
    B: 氮化硅中氮元素的质量分数为60%
    C: 14g氮化硅中含硅8.4g
    D: 氮化硅的相对分子质量为l44
  • C

    内容

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      硅衬底上淀积氮化硅之前必须先制备一层薄薄的氧化硅作为缓冲层。

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      下列关于耐高温新型陶瓷——氮化硅(Si3N4)的叙述,正确的是(  )

    • 2

      STI中的填充氧化层是用CMP技术磨去比氮化硅层高的所有氧化硅,从而实现全局平坦化。 A: 正确 B: 错误

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      中国大学MOOC: STI中的填充氧化层是用CMP技术磨去比氮化硅层高的所有氧化硅,从而实现全局平坦化。

    • 4

      除了Si和N,减反射膜中的氮化硅一般还包含一定比例的(),其可以起到钝化作用,复合硅片体内的缺陷。 A: 氧原子 B: 氢原子 C: 硅原子 D: 氮化硅原子