离子束加工时,由于离子质量大,当垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称为______ ;当离子同时轰击靶材和工件表面,称为______ 。
举一反三
- 离子束加工时,由于离子质量大,当速度______ 、能量______ 时,垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称______ 。
- 离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。
- 在离子束加工时中，哪种加工方式能改变工件表面材料成分（）。 A: 离子刻蚀 B: 离子注入 C: 离子溅射沉积 D: 离子镀
- 在离子束加工中，哪种加工方式能改变工件表面材料成分 A: 离子溅射沉积 B: 离子蚀刻 C: 离子镀 D: 离子注入
- 离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。