离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。
举一反三
- 离子束加工时,由于离子质量大,当速度______ 、能量______ 时,垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称______ 。
- 离子束加工时,由于离子质量大,当垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称为______ ;当离子同时轰击靶材和工件表面,称为______ 。
- 离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。
- 离子束加工和电子束加工类似,主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。(<br/>)
- 下列四个选项中,哪个是离子束加工所具有的特点( )。 A: 加工中无机械应力和损伤; B: 通过离子撞击工件表面,依靠微观的机械撞击能量来加工的; C: 工件表面层不产生热量,但有氧化现象; D: 需要将工件接正电位(相对于离子源)。