高纯硅制备过程为()→()→()→()→()。
举一反三
- 以石英砂制备单晶硅板需要下列哪些过程? A: SiO2+2C=高温=Si(粗硅)+2CO↑ B: Si(粗)+2Cl2=高温=SiCl4 C: SiCl4+2H2=高温=Si(纯硅)+4HCl D: 高纯硅通过材料化的过程制备成单晶硅板
- 硅烷法制备高纯硅的步骤不包括哪一项?( ) A: 固体吸附法 B: 精馏 C: 制备硅烷 D: 硅烷热分解
- 用来做芯片的高纯硅称为半导体级硅,纯度为99.9999999%。
- 制备半导体级硅的过程:制备工业硅 、生长硅单晶、提纯。
- 由硅砂制备高纯多晶硅的方法有很多,目前工业化生产广泛应用的方法有( )? A: 炼硅术 B: 四氯化硅法 C: 三氯氢硅法 D: 硅烷法