• 2022-10-26
    以石英砂制备单晶硅板需要下列哪些过程?
    A: SiO2+2C=高温=Si(粗硅)+2CO↑
    B: Si(粗)+2Cl2=高温=SiCl4
    C: SiCl4+2H2=高温=Si(纯硅)+4HCl
    D: 高纯硅通过材料化的过程制备成单晶硅板