• 2022-10-27
    反应离子刻蚀的过程简单来说是()。
    A: 电离→解吸、排放→轰击→扩散、反应
    B: 轰击→电离→扩散、反应→解吸、排放
    C: 电离→扩散、反应→轰击→解吸、排放
    D: 电离→轰击→扩散、反应→解吸、排放