• 2022-10-27
    ()的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。
    A: 干法刻蚀
    B: 湿法刻蚀
    C: 化学刻蚀
    D: 物理刻蚀
  • A
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    内容

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      在刻蚀工艺中,具有最高选择性的刻蚀工艺是 A: 等离子体刻蚀 B: 干法刻蚀 C: 湿法刻蚀 D: 物理刻蚀

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      刻蚀根据是否采用化学溶液分为 A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 等离子体刻蚀 D: 溅射刻蚀

    • 2

      微细加工技术中的刻蚀工艺可分为()。 A: 湿法刻蚀 B: 干法刻蚀、 C: 混合刻蚀

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      刻蚀可以通过化学或物理步骤选择性移除晶圆表面材料,在湿法刻蚀、干法刻蚀、等离子体刻蚀和激光刻蚀工艺中,( )因底切效应无法用于刻蚀小于3μm的图形。 A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 等离子体刻蚀 D: 激光刻蚀

    • 4

      微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种( )。 A: 离子束刻蚀、激光刻蚀 B: 干法刻蚀、湿法刻蚀 C: 溅射加工、直写加工 D: 激光刻蚀、电子束刻蚀