中国大学MOOC: （）的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。
干法刻蚀
举一反三
内容
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中国大学MOOC: 负载效应是指因刻蚀面积变化而导致的刻蚀均匀性的变化，刻蚀速率随着被刻蚀薄膜暴露的面积的增加而下降。
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三种干法刻蚀方法中，选择性最好的是 。 A: 等离子刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 反应离子刻蚀 D: 湿法刻蚀
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刻蚀方法有哪些？（) A: 化学刻蚀 B: 离子刻蚀 C: 电解刻蚀 D: 以上均不是
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两种刻蚀方法中,属于各向同性刻蚀的是: A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 离子刻蚀 D: 溅射刻蚀
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中国大学MOOC: 反应离子刻蚀进行刻蚀过程中