关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 中国大学MOOC: （）的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。 中国大学MOOC: （）的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。 答案： 查看 举一反三 （）的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。 A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 化学刻蚀 D: 物理刻蚀 中国大学MOOC: 刻蚀的方法有两类：湿法刻蚀和干法刻蚀，其中，（）是利用液体化学试剂以化学形式除去硅片表面材料。而（）是利用等离子体辅助来进行刻蚀的技术，刻蚀反应中不涉及液体。 干法刻蚀是利用 进行薄膜刻蚀的技术 A: 、等离子体 B: 、离子 C: 、光子 D: 、电子 中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和 中国大学MOOC: 刻蚀工序中，检测刻蚀质量的方法有（ ）
