关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-27 金属CMP的机理与氧化硅抛光的机理差不多。 金属CMP的机理与氧化硅抛光的机理差不多。 答案: 查看 举一反三 金属CMP的机理与氧化硅抛光的机理差不多。 A: 正确 B: 错误 氧化硅的CMP抛光中,氧化层用CMP抛光至特定的厚度,因为没有抛光停止层,ILD氧化层抛光需要有效的终点检测 氧化硅的CMP抛光中,氧化层用CMP抛光至特定的厚度,因为没有抛光停止层,ILD氧化层抛光需要有效的终点检测 A: 正确 B: 错误 抛光加工机理是什么? 简述珍珠抛光机理。