• 2022-10-27
    CMP是半导体制造中的什么工艺,其目的是
    A: 化学机械抛光技术,实现全局平坦化
    B: 化学沉积技术,实现全局平坦化
    C: 化学机械抛光技术,实现局部平坦化
    D: 化学沉积技术,实现局部平坦化