在一个一般的制程中，下列材料集成电阻，方块电阻（SheetResistance）最大的是（）
A: 扩散电阻
B: 井电阻
C: 多晶硅电阻
D: 铝层连线电阻
A: 扩散电阻
B: 井电阻
C: 多晶硅电阻
D: 铝层连线电阻
举一反三
- 下面关于扩散层的方块电阻的描述不正确的是（）。 A: 方块电阻反映了单位面积扩散进去的杂质总量，扩散的杂质越多，电阻越小 B: 可以通过测方块电阻来检测扩散进去的单位面积的杂质量 C: 方块电阻反映了单位面积扩散进去的杂质总量，扩散的杂质越多，电阻越大 D: 方块电阻的测量可以采用C-V法测量
- 方块电阻（薄层电阻）
- 方块电阻越大的材料制备的电阻阻值越大
- 方块电阻是指电流流经一个长宽相等，厚度为Xj的扩散层所显示出来的电阻。 A: 正确 B: 错误
- 关于扩散方块电阻不均匀，以下说法正确的是（） A: 方块电阻片间不均匀，是由于温度调控差异所致 B: 方块电阻片间不均匀，是由于大N流量不稳定导致 C: 方块电阻过高，是由于扩散时间过长导致 D: 方块电阻片内不均匀，是由于通源不足导致