• 2022-10-26
    下面哪些说法是正确的() ⑴ 热生长SiO2只能在Si衬底上生长 ⑵ CVD SiO2可以淀积在硅衬底上,也可以淀积在金属、陶瓷、及其它半导体材料上 ⑶ CVD SiO2,衬底硅不参加反应 ⑷ CVD SiO2,温度低
    A: ⑴⑵
    B: ⑵⑷
    C: ⑴⑵⑷
    D: ⑴⑵⑶⑷