• 2022-10-26
    光刻的曝光方式有几种?各有何特点?
  • 接触和非接触两种,非接触分为接近式和投影式接触式:精确度高,但掩膜易磨损,消耗大非接触式接近式:解决了磨损问题,但分辨率下降投影式:分辨率高,不存在掩膜磨损问题,但生产量不高

    内容

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      何谓恶露?有几种?各有何特点?

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