什么叫硅的热氧化？有哪几种热氧化技术？
举一反三
- 简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
- 热氧化工艺本质上是在硅与二氧化硅 发生的硅的氧化反应。
- 热氧化速率快慢排序： 氧化最快、 氧化次之、 氧化最慢。 A:
- 中国大学MOOC: 热氧化工艺本质上是在硅与二氧化硅 发生的硅的氧化反应。
- 下面是与硅热氧化速率有关的论述，哪种论述正确： A: 因为水汽在硅氧化层中的溶解度（也就是平衡浓度）远大于氧气，所以水汽的氧化速率比干氧氧化快得多 B: 温度对抛物线氧化速率影响大，对线性氧化速率影响小 C: 在氧化层很薄时增加氧气分压，比在氧化层较厚时增加氧气分压，对提高氧化速率的影响更大 D: 氧化层较厚时，可以忽略硅晶向对热氧化速率的影响