关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-27 硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸,干法刻蚀所用的气体为NF3 硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸,干法刻蚀所用的气体为NF3 答案: 查看 举一反三 硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸,干法刻蚀所用的气体为NF3 A: 正确 B: 错误 中国大学MOOC: 硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸,干法刻蚀所用的气体为NF3。 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中,通常()的刻蚀选择比较高,()的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀 关于干法和湿法刻蚀说法错误的是() A: 湿法刻蚀保真度较差 B: 干法刻蚀选择性较差 C: 干法刻蚀均匀性较好 D: 干法刻蚀清洁性较好 硅湿法刻蚀常采用的腐蚀液成分不包含