表面起伏处用一层厚的介质或其它材料作为平坦化的牺牲层来进行平坦化的方法是
A: 高温回流
B: 反刻
C: 旋涂玻璃法
D: 化学机械抛光
A: 高温回流
B: 反刻
C: 旋涂玻璃法
D: 化学机械抛光
B
举一反三
内容
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下列选项中（）不属于传统平坦化技术范畴。 A: 反刻 B: 玻璃回流 C: 旋涂膜层 D: CMP
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以下几种平坦化方法中,应用于大马士革铜互连工艺的是: A: 反刻 B: 高温回流 C: 旋涂玻璃法 D: CMP
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局部平坦化的特点是在一定范围的硅片表 面上实现平坦化，主要技术为（）法。 A: 旋涂玻璃 (SOG)法 B: 化学机械抛光CMP法 C: 玻璃回流法 D: 回刻技术
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高温回流平坦化可应用于金属层间介质的平坦化
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高温回流平坦化可应用于金属层间介质的平坦化 A: 正确 B: 错误