关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 简述常规热氧化办法制备SiO 简述常规热氧化办法制备SiO 答案： 查看 举一反三 简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。 热氧化速率快慢排序： 氧化最快、 氧化次之、 氧化最慢。 A: 热氧化制备SiO2的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。 在常规热氧化工艺中干氧氧化的速度最快。 简述硅热氧化过程中有哪些阶段？
