简述硅热氧化过程中有哪些阶段？
第一阶段：反应速度决定氧化速度，主要因为氧分子、水分子充足，硅原子不足。第二阶段：扩散速度决定氧化速度，主要因为氧分子、水分子不足，硅原子充足。
举一反三
内容
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在热氧化过程的初始阶段，二氧化硅的生长速率由氧化剂通过二氧化硅层的扩散速率决定，处于线性氧化阶段。
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在转炉吹炼过程，关于硅的氧化说法正确的是（） A: 硅的氧化反应十分完全，最后残留在钢液中的硅几乎没有 B: 硅在熔炼的最初阶段被氧化 C: 硅的氧化是放热反应，在吹炼中期温度较高时发生还原，吹炼后期又被氧化 D: 硅的氧化反应是一个强放热反应，硅元素是转炉吹炼过程中的重要发热元素
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热氧化方法和淀积方法的区别是 A: 热氧化方法硅衬底参与反应。 B: 淀积方法硅衬底参与反应。 C: 热氧化方法硅衬底不参与反应。 D: 淀积方法硅衬底不参与反应。
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简述在热氧化过程中杂质再分布的四种可能情况。
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中国大学MOOC: 二氧化硅热氧化过程中要生成1体积的二氧化硅，需要消耗掉（）体积的硅。