关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-28 反应离子深刻蚀中的时分复用深刻蚀能实现非常高的刻蚀深宽比,其在每个周期内的刻蚀是各向______ 的。 反应离子深刻蚀中的时分复用深刻蚀能实现非常高的刻蚀深宽比,其在每个周期内的刻蚀是各向______ 的。 答案: 查看 举一反三 反应离子深刻蚀得到的刻蚀深度与刻蚀窗口的大小有关,刻蚀深度随刻蚀窗口的减小而减小,这个现象称为(______ )。 在RIE刻蚀中,深宽比越大,刻蚀速率越()。 A: 快 B: 慢 C: 一样 两种刻蚀方法中,属于各向同性刻蚀的是: A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 离子刻蚀 D: 溅射刻蚀 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中,通常()的刻蚀选择比较高,()的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀 刻蚀方法有哪些?() A: 化学刻蚀 B: 离子刻蚀 C: 电解刻蚀 D: 以上均不是