简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点
（1）对材料具有高的选择比（2）不会对器件带来等离子体损伤（3）设备简单
举一反三
内容
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⑰ 湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是 A: 、湿法刻蚀是各向同性的，干法刻蚀是各向异性的 B: 、湿法刻蚀由于存在侧蚀现象，不宜制作很微细的图形 C: 、干法刻蚀效果好，但工艺要求高 D: 、干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤
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关于湿法刻蚀和干法刻蚀，下列那种说法正确： A: 干法比湿法的图形分辨率低 B: 湿法比干法的选择性好 C: 干法比湿法的保真度好 D: 湿法比干法的设备更复杂
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一般情况下,与湿法刻蚀相比,干法刻蚀具有较高的选择比。( )
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湿法刻蚀的选择性 干法刻蚀。 A:
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硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸，干法刻蚀所用的气体为NF3