• 2022-10-27
    关于湿法刻蚀和干法刻蚀,下列那种说法正确:
    A: 干法比湿法的图形分辨率低
    B: 湿法比干法的选择性好
    C: 干法比湿法的保真度好
    D: 湿法比干法的设备更复杂