• 2022-10-27
    ⑰ 湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是
    A: 、湿法刻蚀是各向同性的,干法刻蚀是各向异性的
    B: 、湿法刻蚀由于存在侧蚀现象,不宜制作很微细的图形
    C: 、干法刻蚀效果好,但工艺要求高
    D: 、干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤