• 2022-10-27
    在解释过程中对有沾污的异常面积应扣除沾污影响。扣除原则宜为:对应接箍处的同位素沾污,扣除沾污面积的1/5。()
  • 内容

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      产品沾污情况有()。 A: 打印区内有影响印记质量的沾污 B: 打印区外有沾污的

    • 1

      单晶原硅片的表面沾污有哪些()。 A: 有机物沾污 B: 金属沾污 C: 以上均不是

    • 2

      转子沾污后对精度影响不大。

    • 3

      沾污:晶圆表面不清洁有沾污,如()等赃物。 A: 斑点 B: 白雾 C: 硅屑 D: 杂质

    • 4

      硅片最常见的沾污类型有()、()、()、()和()。