关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-27 离子注入后为什么要进行热退火 离子注入后为什么要进行热退火 答案: 查看 举一反三 离子注入后为什么要进行退火? 离子注入后为什么要退火? 离子注入之后为修复晶格损伤和激活杂质,必须进行退火 使掺杂的离子加速到一定的能量,使之注入到晶体中,经过退火使杂质激活,从而达到掺杂的目的,这种工艺称为: 。 A: 扩散 B: 快速热退火 C: 刻蚀 D: 离子注入 离子注入过程中,常用的退火方法有( )。 A: 高温退火 B: 快速热退火 C: 氧化退火 D: 电阻丝退火