中国大学MOOC: 刻蚀的工艺要求中最重要是刻蚀图形的保真度好，分辨率高。
对
举一反三
内容
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35.在刻蚀工艺中，有几个非常重要的参数，其中（）定义为当刻蚀线条时，刻蚀的深度V 与一[br][/br]边的横向增加量 ΔX 的比值V/ΔX，比值越大，说明横向刻蚀速率小，刻蚀图形的保真度好。 A: 刻蚀因子 B: 刻蚀速率 C: 选择比 D: 均匀性
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中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和
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中国大学MOOC: 刻蚀因子主要是判定刻蚀过程是各向同性或者各向异性。
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晶圆制造过程中,检测刻蚀质量的好坏,一般通过以下几个方面体现出来:( )。 A: 刻蚀均匀性 B: 图形保真度 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀的洁净度
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114.晶圆制造过程中，检测刻蚀质量的好坏，一般通过以下几个方面体现出来：（）。 A: 刻蚀均匀性 B: 图形保真度 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀的洁净度