磁控溅射可以增加溅射气体碰撞的概率,提高了沉积效率。
正确
举一反三
内容
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<p>⑤ 溅射镀膜有直流二极溅射,射频二极溅射,磁控溅射,IC制造中使用最多的是</p>
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磁控溅射为何既可以提高溅射速度又可以降低衬底温度?
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下列溅射设备中可以制备绝缘体的是(<br/>)。 A: 直流溅射 B: 高频溅射 C: 磁控溅射 D: 反应溅射
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以下方法中不是常见的溅射方法的是: 。 A: 磁控溅射 B: 直流溅射 C: 射频溅射 D: 刻蚀溅射
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运用磁控溅射方法,在金丝(Au)上溅射一层金属锌膜,需要什么样的溅射条件啊?