• 2022-06-04
    ④ 从下列选项中选出直流二极溅射成膜的正确过程
    A: 、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上、金属靶产生金属原子
    B: 、金属靶产生金属原子、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上
    C: 、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子、金属原子沉积在衬底上
    D: 、金属原子沉积在衬底上、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子