• 2022-06-06
    ⑤ IC制造过程中要用到各种各样的薄膜作用错误的是
    A: 、绝缘膜,电气隔离作用的元件分离膜
    B: 、降低电阻,如栅极上采用的硅化物膜
    C: 、电气连接作用,如铝中添加微量铜的铝膜
    D: 、LSI最上面的SiN膜是为了实现绝缘