扫描电镜的分辨率等于入射电子束直径。( )
举一反三
- 扫描电镜分辨率的制约因素主要有 A: 入射电子束束斑直径 B: 入射电子束在样品中的扩展效应 C: 信噪比 D: 真空度
- 影响扫描电子显微镜分辨率的有( ) A: 试样原子序数 B: 信噪比 C: 成像调制信号 D: 入射电子束的束斑直径
- 扫描电镜分辨率的影响因素包括() A: 电子束的束斑大小 B: 所用的信号种类 C: 样品中原子的原子序数 D: 入射电子的能量
- 扫描电子显微镜的最高分辨率主要取决于 A: 入射电子束的直径 B: 扫描线圈的扫描速度 C: 光阑大小 D: 样品室的大小
- 扫描电子显微镜的主要构造有哪几个?答:(1)电子光学系统(镜筒):由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束(直径一般为10nm或更小)来轰击样品,使样品产生各种物理信号。(2)扫描系统:扫描电镜的特殊部件,由扫描发生器和扫描线圈组成。作用:1)使入射电子束在样品表面扫描,并使电子束在荧光屏上作同步扫描;2)改变入射束在样品表面的扫描振幅,来改变扫描像的放大倍数。(3)信号收集系统:扫描电镜应用的物理信号:二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测出,其他电子信号用电子收集器收集。(4)图像显示和记录系统:将信号收集器输出的信号成比例地转换为阴极射线显像管电子束强度的变化,这样就在荧光屏上得到一幅与样品扫描点产生的某一种物理讯号成正比例的亮度变化的扫描像。