扫描电子显微镜的主要构造有哪几个?答:(1)电子光学系统(镜筒):由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束(直径一般为10nm或更小)来轰击样品,使样品产生各种物理信号。(2)扫描系统:扫描电镜的特殊部件,由扫描发生器和扫描线圈组成。作用:1)使入射电子束在样品表面扫描,并使电子束在荧光屏上作同步扫描;2)改变入射束在样品表面的扫描振幅,来改变扫描像的放大倍数。(3)信号收集系统:扫描电镜应用的物理信号:二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测出,其他电子信号用电子收集器收集。(4)图像显示和记录系统:将信号收集器输出的信号成比例地转换为阴极射线显像管电子束强度的变化,这样就在荧光屏上得到一幅与样品扫描点产生的某一种物理讯号成正比例的亮度变化的扫描像。
举一反三
- 扫描电子显微镜的样品上，入射电子束和显像管中的电子______扫描，荧光屏上每一像点的亮度，对应于样品相应位置的信号强度。
- 扫描电镜的样品室中，扫描电子束与样品发生相互作用后可以产生下列哪些信号？ A: 二次电子 B: 背散射电子 C: X射线 D: 俄歇电子
- （）是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子 与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等 对样品表面或断口形貌进行观察和分析。 A: 透射电子显微镜 B: 扫描电子显微镜
- 高能电子束轰击固体样品表面，产生的物理信号有 A: 二次电子 B: 背散射电子 C: 吸收电子 D: 透射电子 E: 俄歇电子
- 台式扫描电镜由电子光学系统、扫描系统、信号收集系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源系统组成。