能够并将注入的离子偏转方向,然后收集中性原子的是子注入系统中的
A: 离子源
B: 吸极
C: 中性束流陷阱
D: 磁分析器
A: 离子源
B: 吸极
C: 中性束流陷阱
D: 磁分析器
C
举一反三
内容
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离子注入系统中,从离子源引出的各种离子中分析出所需要注入的离子,成为单一元素的离子束的部件是 A: 离子源 B: 聚焦系统 C: 中性束流陷阱 D: 磁分析器
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能够使注入的离子偏转，中性原子被收集的是
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若需要将离子聚焦为小尺寸或者平行束流,需要离子注入系统中的: A: 束流聚焦系统 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
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能够挑选出唯一需要注入离子的部分是 A: 聚焦系统 B: 扫描系统 C: 离子源 D: 磁分析器
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由于注入的束流尺寸比较小,一般小于晶圆尺寸,因此注入时需要离子注入系统中的: A: 束流聚焦系统 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 束流扫描