投影式曝光的光学分辨率取决于照明光波长、光学透镜的数值孔径和工艺条件,数值孔径越大分辨率越差。
A: 正确
B: 错误
A: 正确
B: 错误
举一反三
- 中国大学MOOC: 投影式曝光的光学分辨率取决于照明光波长、光学透镜的数值孔径和工艺条件,数值孔径越大分辨率越差。
- 在光刻工艺中,曝光光源的波长越长,则光刻的分辨率越 ;投影式曝光系统中透镜的数值孔径(NA)越大,分辨率越 ;光刻胶的对比度越大,则光刻的分辨率越 。
- 关于显微镜的数值孔径,以下说法正确的是 A: 数值孔径越大,能看到的视场越大 B: 数值孔径越大,理论分辨率越高 C: 数值孔径决定了孔径角 D: 数值孔径决定了视场角
- 关于普通光学显微镜的分辨率,下列说法错误的是 A: 显微镜观察到的是放大的图像,清晰度由分辨率决定 B: 分辨率越小,分辨能力越高 C: 所用光源波长越小,分辨率越小 D: 数值孔径越小,分辨率越小
- ( )越大,则显微镜的分辨率越高。 A: 数值孔径NA B: 最小可分辨距离 C: 入射波长 D: 光照强度