关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-05-27 在光刻工艺中，曝光光源的波长越长，则光刻的分辨率越 ；投影式曝光系统中透镜的数值孔径（NA）越大，分辨率越 ；光刻胶的对比度越大，则光刻的分辨率越 。 在光刻工艺中，曝光光源的波长越长，则光刻的分辨率越 ；投影式曝光系统中透镜的数值孔径（NA）越大，分辨率越 ；光刻胶的对比度越大，则光刻的分辨率越 。 答案： 查看 举一反三 投影式曝光的光学分辨率取决于照明光波长、光学透镜的数值孔径和工艺条件，数值孔径越大分辨率越差。 A: 正确 B: 错误 中国大学MOOC: 投影式曝光的光学分辨率取决于照明光波长、光学透镜的数值孔径和工艺条件，数值孔径越大分辨率越差。 投影式光刻中的离轴光源技术能够增大曝光时透镜的数值孔径。（ ） 光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率的因素是什么？最常用的曝光光源是什么？ 电子束曝光的分辨率要远远低于光学光刻的分辨率。
