试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
实际扩散过程中,杂质除了进行垂直于晶片表面进行扩散外,还有平行于表面的横向扩散。横向扩散效应:使扩散区之间的实际距离比由光刻版确定的尺寸小;从而对集成度及扩散区结电容造成影响。
举一反三
内容
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中国大学MOOC: 影响半导体器件或者集成电路横向尺寸的工艺过程是扩散。
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影响半导体器件或者集成电路横向尺寸的工艺过程是扩散。 A: 正确 B: 错误
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试分析固态金属扩散的条件及主要影响因素。
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说明影响扩散的因素?
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下列水体混合公式运用不正确的是()。 A: 剪切离散: B: 紊动扩散: C: 分子扩散: D: 横向混合系数: