基于LSS理论,离子注入受到靶原子核与电子的阻止:
举一反三
- 关于离子注入,说法错误的是() A: 离子注入可以制备超浅结 B: 增大注入剂量,有可能形成非晶层 C: 原子越重,核阻止越大 D: 高能离子,以核阻止为主
- 对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。 A: 入射离子的能量 B: 入射离子的质量 C: 入射离子的原子序数 D: 靶原子的质量、原子序数、原子密度 E: 注入离子的总剂量
- X线特征辐射的产生是由于() A: 高速运动的电子作用于靶原子的外层电子 B: 高速运动的电子作用于靶原子的内层电子 C: 高速运动的电子作用于靶原子的原子核 D: 高速运动的电子作用于靶原子的光学轨道电子 E: 高速运动的电子作用于靶原子的内层电子和原子核
- 高速电子受到阳极靶的()阻止而产生连续X射线。 A: 自由电子 B: 核外壳层电子 C: 核外库仑场 D: 以上都不对
- 高能离子进入靶后不断与原子核及其核外电子碰撞,逐步损失能量,最后停下来。离子注入过程是一个平衡过程。